0.02 μm的超高重复精度 ±0.02%F.S.的超高线性精度 ±60°的超大测量角度 10kHz的超高检测采样频率 适应不同被测物：镜面、透明 、半透明 、膜层 、深孔、内壁、多层玻璃
| 型号 | PCSS3030 |
| 控制器 | PCSC3001/PCSC3002 |
| 参考距离(mm) | 7 |
| 测量范围(mm) | ±1.5 |
| 测量角度(°) | ±10 |
| 光斑直径(μm) | Φ26 |
| 静态噪声(nm) | 100 |
| 横向分辨率(μm) | 13 |
| 线性误差(μm) | ＜±0.6 |
| 最小可测厚度 | 10%ofF.S |
| 温度特征 | 0.03%ofF.S./℃ |
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