PCSS3100

0.02 μm的超高重复精度
±0.02%F.S.的超高线性精度
±60°的超大测量角度
10kHz的超高检测采样频率
适应不同被测物:镜面、透明 、半透明 、膜层 、深孔、内壁、多层玻璃
详细信息
型号 PCSS3100
控制器 PCSC3001/PCSC3002
参考距离(mm) 50
测量范围(mm) ±5
测量角度(°) ±13
光斑直径(μm) Φ20
静态噪声(nm) 250
横向分辨率(μm) 10
线性误差(μm) <±2
最小可测厚度 5% of F.S.
温度特征 0.03% of F.S./°C

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